深圳市辰中科技取得光刻胶输送装置专利避免光刻胶被污染和混入气泡
发布时间:2025-01-17 14:35:21| 浏览次数:
金融界2024年12月25日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市辰中科技有限公司取得一项名为“一种光刻胶输送装置”的专利,授权公告号CN 222197633 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种光刻胶输送装置,至少包括:箱体,所述箱体包括储胶箱和储气箱;挡板,设置在所述储胶箱和所述储气箱之间,且所述挡板与所述箱体活动连接,允许所述挡板相对于所述箱体进行移动;送胶管路,与所述储胶箱连接;送球盟会气管路,与所述储气箱连接;以及排气管路,与所述储气箱连接。通过本实用新型提供的光刻胶输送装置,能够避免气体与光刻胶直接接触,降低光刻胶被污染和混入气泡的风险,而且避免光刻胶的浪费。